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薄膜检测仪UVISEL
UVISEL
概要
UVISEL光谱型相调制椭圆偏振仪(SPME)是一款独一无二的仪器，它采用光弹性晶体来调制偏振光，而不是传统椭偏技术中的机械偏光装置。
相调制技术在性能上和多种实验功能方面有着显著的优势。
与传统椭偏仪相比，UVISEL光谱型椭偏仪能够在全谱范围内测得非常准确的椭偏角(Y, D)，从而可以对透明衬底、超薄薄膜和折射率接近的样品进行高精度和高灵敏度的特性分析。
相调制技术的原理，使得UVISEL光谱型椭偏仪能够进行先进的参数测量，包括极化度、各向异性以及Mueller矩阵元素的确定。高达1毫秒/每数据点的快速数据采集速率，使得UVISEL成为动态研究和液态表面测量的理想解决方案。
UVISEL是一台多功能的光谱型椭偏仪。它覆盖了190nm到2100nm的宽光谱范围，而且提供了一系列的自动选件和附件来增强系统的功能、满足您的实验需求。模块化的设计使得UVISEL配置灵活，可以离线、在线甚至为减小占地面积和满足超净间要求而集成到一个机柜中。
特征
- 光谱型相调制椭圆偏振仪
- 同类产品中的最高精度和最高灵敏度
- 宽光谱范围：142到2100纳米
- 模块化设计
- 包含成熟的光谱型椭圆偏振仪软件包
規格
UVISEL光谱型椭偏仪有以下四种不同的配置：
| 190nm UVISEL Extended Range 2100 nm |
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| 245 nm UVISEL NIR 2100 nm |
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| 210 nm UVISEL VIS 880 nm |
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| 190 nm UVISEL FUV 880 nm |
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| 142 nm UVISEL VUV 880 nm |
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